රික්ත ආලේපන යන්ත්රයක් යනු උපස්ථරයක මතුපිටට ලෝහ තුනී පටල තැන්පත් කරන උපකරණයකි. එහි මූලික වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය පියවර තුනකට බෙදා ඇත: පිරිසිදු කිරීම, වාෂ්පීකරණය සහ තැන්පත් කිරීම.
1. පිරිසිදු කිරීම
වාෂ්පීකරණ තැන්පත් වීමට පෙර, වාෂ්පීකරණ කුටිය පිරිසිදු කළ යුතුය. වාෂ්පීකරණ කුටියේ මතුපිටට සම්බන්ධ වූ ඔක්සයිඩ්, ග්රීස්, දූවිලි සහ අනෙකුත් ද්රව්ය තිබිය හැකි නිසා, මෙම චිත්රපටයේ ගුණාත්මක භාවයට බලපානු ඇත. පිරිසිදු කිරීම සාමාන්යයෙන් රසායනික හෝ භෞතික ක්රම භාවිතා කරයි.
2. වාෂ්පීකරණය
අපේක්ෂිත ද්රව්යය එහි ද්රවාංකයට ඉහලින් රත් වන අතර එමගින් වායුමය අණු සෑදෙයි. එවිට වායුමය අණු රික්තක කුටීරයේ වාෂ්පීකරණ කුටියට ගැලවී යයි. මෙම ක්රියාවලිය වාෂ්පීකරණය ලෙස හැඳින්වේ. උෂ්ණත්වය, පීඩනය සහ වාෂ්පීකරණ අනුපාතය චිත්රපටයේ සංයුතිය, ව්යුහය සහ ගුණාංග කෙරෙහි බලපායි.
3. තැන්පත් කිරීම
වාෂ්පීකරණ කුටීරයේ ඇති ද්රව්යයේ වායුමය අණු රික්තක නළය හරහා ප්රතික්රියා කුටියට ඇතුළු වී ක්රියාකාරී ද්රව්ය සමඟ ප්රතික්රියා කර උපස්ථරයේ මතුපිටට නිෂ්පාදිතය තැන්පත් කරයි. මෙම ක්රියාවලිය අවසාදිත ලෙස හැඳින්වේ. උෂ්ණත්වය, පීඩනය සහ තැන්පත් වීමේ වේගය චිත්රපටයේ ගුණාත්මක භාවයට සහ ක්රියාකාරීත්වයට ද බලපායි.
2. යෙදුම
රික්ත ආලේපන යන්ත්ර ද්රව්ය විද්යාව, දෘෂ්ටි විද්යාව, ඉලෙක්ට්රොනික විද්යාව සහ වෙනත් ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ.
1. ද්රව්ය විද්යාව
රික්ත ආලේපන යන්ත්රවලට විවිධ ලෝහ, මිශ්ර ලෝහ, ඔක්සයිඩ්, සිලිකේට සහ අනෙකුත් ද්රව්යවල තුනී පටල සකස් කළ හැකි අතර, ආලේපන, ඔප්ටිකල් ෆිල්ම්, ඔප්ටිකල් ගබඩා, සංදර්ශක, ට්රාන්සිස්ටර සහ වෙනත් ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ.
2. දෘෂ්ටි විද්යාව
වැකුම් ආලේපන යන්ත්රය විශේෂ කාර්යයන් සහිත ඉහළ පරාවර්තකයක් සහ දෘශ්ය පටල සහිත ලෝහ සහ මිශ්ර ලෝහ පටල සකස් කළ හැකිය. මෙම චිත්රපට සූර්ය පැනල, ඉහළ ක්රියාකාරී ඉලෙක්ට්රෝන අන්වීක්ෂ, aerogels, UV/IR සංවේදක, දෘශ්ය පෙරහන් සහ වෙනත් ක්ෂේත්රවල භාවිතා කළ හැක.
3. ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ
වැකුම් ආලේපන යන්ත්රවලට නැනෝ පරිමාණ ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය සහ ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග සකස් කළ හැක. මෙම චිත්රපට නැනෝට්රාන්සිස්ටර, චුම්බක මතකයන්, සංවේදක සහ වෙනත් ක්ෂේත්රවල භාවිතා කළ හැක.
කෙටියෙන් කිවහොත්, වැකුම් ආලේපන යන්ත්රය විවිධ තුනී පටල ද්රව්ය සකස් කිරීම පමණක් නොව, අවශ්ය පරිදි විශේෂ කාර්යයන් සහිත තුනී පටල සකස් කළ හැකිය. අනාගතයේදී, රික්ත ආලේපන තාක්ෂණය වඩාත් පුළුල් ලෙස භාවිතා කර ප්රවර්ධනය කරනු ඇත.
පසු කාලය: මාර්තු-12-2024